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英國愛德華羅茨真空泵EH4200C 230/460V，3 相，60Hz，15hp

概述

防爆型機械增壓泵已經(jīng)過鑒定，可以在潛在易爆氣體環(huán)境中使用。

EH4200C 機械增壓泵已經(jīng)過鑒定，可用于 CSA Division 1 區(qū)域、氣體 Class I、Group C D 和灰塵 Class II Group F G、溫度 Class T3C。泵的溫度分類基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的臨界前級壓力下保持的泵出氣口壓力。

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

防爆型機械增壓泵可能配備防爆型電機，或作為防爆型系統(tǒng)的一部分供貨。請咨詢 Edwards。英國愛德華羅茨真空泵EH4200C 230/460V?

應(yīng)用

• 半導體制程
• 真空蒸餾
• 真空包裝
• 鋼脫氣
• 薄膜覆層
• 真空冶金
• 低密度風洞
• 空間模擬
• 真空浸漬
• 油干燥和脫氣
• 制藥冷凍干燥
• CO₂ 激光英國愛德華羅茨真空泵EH4200C 230/460V?

EH4200C 230/460V，3 相，60Hz，15hp

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功能和優(yōu)勢

• 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應(yīng)用場合。

• 它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

• EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：

  • 安靜的無振動運行。

  • 牢靠且防腐蝕。

  • 良好的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

• 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

• 經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。

• 軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

• 動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是良好技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

技術(shù)數(shù)據(jù)

* 在許多情況下，泵可在沒有冷卻水的情況下操作。是否適合 Edwards 請了解詳細信息。
** 重量請參考 IND 版本
†.取決于壓力

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